同時極紫外光刻機的光路係統要求考慮的因素非常多,因為極紫外光刻機的光子能量非常高,幾乎所有的材料都會吸收極紫外光。


    而吸收了極紫外光必然會發熱,發熱就會帶來材料的變形。對於需要納米級成像的光刻機來說,簡直就是災難,基本就無法使用了。


    如果不加控製,光路係統還有被燒毀的風險。


    所以極紫外光刻機裏,光源和每一麵鏡子的背後都有非常高效的冷卻裝置,把極紫外光照射產生的熱量及時帶走。


    最後,光刻機研發真正困難的是成像質量補償。光刻機對光刻圖形的要求是近乎完美的,但設備的生產是不可能做到完美的,鏡頭使用的材料不可能做到完美。


    鏡頭打磨不可能做到完美,鏡頭組裝也不可能做到完美。同時鏡頭材料和支撐材料都必然存在熱脹冷縮的問題。


    這些問題都會給最終成像效果帶來誤差,而且很多成像誤差是不斷變化的。


    必須通過一係列辦法進行校準和修正,甚至要求通過軟硬件結合的自動化控製來實現實時成像補償,這才是真正的難點。


    還需要大量精密控製裝置的支持專利。不僅實現起來非常困難,還要麵臨大量的專利陷阱。


    這光刻機,本來就是十幾個發達國家,聯合研製出來的一個產品,涉及到的行業之廣,設計到的儀器之頂尖,都是咱們暫時達不到的。


    隻能說咱們開局太晚了啊!綜合那麽多高端的精密儀器,我們搞不來……”


    陳小川聽了之後點點頭,眾人也是聽的雲裏霧裏,但是最終還是知道一個結論,


    這光刻機,不好造!


    但是陳小川又說:


    “李院士說得對,也是說的很全麵。這的確是我們的一個不足之處,不,這是我們的很多不足之處。


    我們沒有那麽多高端的儀器製造,沒有那麽精密的儀器,設備,甚至在光學上,我們也比不過卡爾蔡司。


    但是咱們華夏人最不缺的就是創新精神,難道說咱們這芯片製造隻能依靠光刻機嗎?


    沒了張屠夫,咱們就要吃帶毛豬?不,不可能,一定有其他的替代方案。


    光刻機的複雜和精密以及小型化是他的一大優點,但是我覺得這也正是他們光刻機的一個缺點。


    正是因為他們要把光刻機當做一個商品售賣,所以他們不得不做的精細,做的方便運輸,所以一定要適合運輸,隻能做那麽大一點兒~”


    聽了這個迴答,李院士也是點點頭,然後李院士說:


    “是的,小川說的對,光刻機可以說是工業上的一顆明珠,是高端科技的集大成者!!


    但是荷蘭生產的光刻機基本上是外貿型的光刻機,產品不是送到鷹醬,就是送到灣灣那邊。


    所以在體積上做的不是很大,畢竟要通過海運從荷蘭運到別處。


    但是送到我們這裏的光刻機,都不是最新一代的光刻機,都要比最新一代落後一代或者兩代才行,這就是為了讓華夏的芯片產業,永遠落後於鷹醬等西方國家。


    這可以說是一個陽謀,但是我們之前沒法破解,因為我們沒有光刻機的核心技術。”


    陳小川聽了也是點點頭:


    “李院士說的對啊!


    但是我這裏要說的是,小,雖然是光刻機的一大特點,但這也是他的悲哀之處!


    這同時也是一個沒有廣袤國土,沒有巨大的人口規模,沒有巨大的消費市場的國家的悲哀!


    他們沒有那麽大的市場來承擔光刻機大型化,甚至巨型化帶來的後果,但是我們能啊!”


    “我們擁有廣袤無垠的國土麵積,擁有巨大的人口基數,擁有全世界消費潛力最大的市場!這就讓這種光刻機巨型化有了用武之地啊!


    難道這種先進技術也要出口嗎?根本用不著!”


    “所以,我們要製造芯片,就要符合我們的國情!!


    我們沒有超高精密儀器,難道就不能粗糙一點?


    我們沒有製造那麽小的光刻機的能力的話,那麽我們做一個光刻廠呢?


    把光刻機的小型激光輻射,變成巨大的光源輻射,我們也應該能夠做到吧!


    嘿嘿!”


    “光刻廠??”


    “光刻廠?”


    “那得是費老鼻子電了吧!?光刻機一天都是幾萬度電啊……”


    “是啊,光刻機這一塊兒就挺費電的了……”


    一些院士忍不住說出光刻廠的缺點之一——費電!


    陳小川卻是嘿嘿一笑:


    “嘿嘿,李院士,您忘了咱們這兩年建造的光伏電廠了嗎?咱們的電多啊,便宜啊!


    您家裏電費怕是便宜了一半不止了吧啊。


    上邊正愁咱們這電用不完咋辦,這不,這耗電大戶這不就來了嗎?


    這光刻廠一建成,那相應的其他配套產業鏈也該擴建了吧!嘿嘿,這得用多少電啊,那不得一年幾千億度電?


    可是咱們今年預估的發電量就是十二萬億度電,這點兒還不夠塞牙縫兒呢!”


    “哪怕光刻廠一天用一千萬度電,那也才幾百萬的成本不是?誰家電力有咱們便宜?”


    各位院士聽了若有所思,這個巨型化方案,好像也不是不能行!


    陳小川又是一劑猛藥下去


    啪的一聲


    “各位看一看這篇還沒有發表的論文:《穩態微聚束加速器光源》,看看這個理論可以嗎?”


    說完之後,全場十幾台華威電腦屏幕上就出現了這篇論文,院士們也是抓緊看了起來,這東西不得了啊!


    在大佬們都在看論文的時候,陳小川還在叭叭叭的說:


    “我將光刻廠理解為,力大飛磚,大炮打蚊子!!


    其他的不管,隻要能夠造出來芯片,那就是好廠子………”


    鴉雀無聲~~~


    因為在論文發出後,現場根本就沒有人鳥陳小川,都在聚精會神的看論文,看一下可行性大不大,誰還有空聽他吹牛啊!


    隻留下陳小川和餘成棟尷尬的對視,餘成棟抖抖肩膀,怪我咯?


    一時間房間裏發出各種驚訝的聲音


    “還能這樣!?”


    “哦!原來是這樣?”


    “嗯,這個思路也蠻不錯!”


    “唉,這個可以啊!”


    “這個思路還行啊~~”


    “簡直是石破天驚啊~~這設計簡直太巧妙了!”


    ~~~~


    三個小時後,眾人討論出一個驚訝的結果!


    這個光刻機巨型化的方案可行!


    也就是說,陳小川所謂的力大飛磚,大炮打蚊子的論斷沒有錯!


    這就像啥?就像啥來著?


    眾人腦子裏猛然間想起一個偉大的人的偉大理論:工程控製論!


    哪怕是用不穩定的零部件,也可以製造可靠的係統。


    不求單項技術的先進性,隻求總體技術的合理性,充分利用僅有資源,以總體設計,負責對各個分係統的技術協調,提升改造現有的工業技術!


    這光刻廠設想,就是工程控製論的再現!


    這真是一個天才的設想!

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