第七百二十四章 調試測驗
重生從努力當學霸開始 作者：新安小胖A 投票推薦 加入書簽 留言反饋
光刻機需要工作在超高無塵環境下，剛剛組裝完成的測試樣機正在無塵車間內安裝調試。劉焱換了一身白色防塵服，戴上防塵帽，通過風淋間進入無塵車間。
此時是上午十點左右，處於每天的早班時間，晶圓工廠的四條芯片生產線正在全力運作，數千名工人，正在生產線上，有條不紊的工作。走過生產區域，進入測試區域，以薑安平為首的幾十名研究人員，正圍在一台一人多高的設備，做最後的調試，旁邊還有幾名維創電子公司的高管站在那裏圍觀。
劉焱湊上前去，朝研發二部部長烏光輝問道：
“這台就是光刻機研發實驗室製作出的第一台光刻機嗎？什麽時候能開始光刻測試？”
聽到有人提問，陽威力、金小雅等人同時轉頭看過來，見是老板劉焱，紛紛打招唿問好，烏光輝出聲給劉焱解釋道：
“對，就是這台機器，昨天組裝完成之後，第一時間就從研發大樓搬運到了無塵車間，經過一天一夜的安裝調試，現在已經差不多可以開始了。”
劉焱滿意的點點頭，圍著光刻機轉了一圈，這台設備為全封閉結構，就像一個四四方方的鐵皮文件櫃，外殼噴塗成了乳白色，左右兩側，設置有矽晶圓入口和出口，靠外一側安裝著一個控製麵板和一台大屁股顯示器。
劉焱有些疑惑的問道：
“看外表，我們這台光刻機似乎和j能、n康的光刻機都不太一樣，這是對外殼進行了優化嗎？”
烏光輝搖搖頭之後說道：
“我們不光優化了外殼，同時也優化了部分內部結構。
老板你提供的資料裏不是有一部分0.5微米光刻機的預研資料嗎，薑教授他們研發一微米光刻機的時候，參考了0.5微米光刻機的內部結構，對設計圖進行了一些更改優化。
從理論上來說，這些優化對晶圓的加工速度和加工精度，應該都有所提升，實際情況如何，還需要測試過後才知道。”
薑安平等人又忙活了半個多小時，光刻機終於調試完成，將提前準備好的掩膜版固定到掩膜版工作台上。陽威力通過對講機溝通，讓一位名為柏巧玲的女工，送來了幾十片已經塗好光刻膠的矽晶圓。
薑安平親自動手，將矽晶圓安置到光刻機晶圓入口處的支架上，然後按下操作麵板上的啟動按鈕。
光刻機內部傳出細微的機械轉動聲音，一張矽晶圓被機械臂送進光刻機內部，在深色玻璃觀察窗上，亮起一抹深邃的紫色光芒，開始對矽晶圓進行加工。
見狀，劉焱出聲詢問道：
“這台光刻機使用的是哪種光源，是高壓汞燈產生的436nmg-line和365nmi-line，還是248nm的krf準分子激光作為光源？”
烏光輝迴答道：
“現在使用的是高壓汞燈產生的365nmi-line作為光刻光源，理論上，這種光源能一直將光刻機的加工精度提升到0.35微米，作為未來一兩代光刻機的光源足夠使用了。
準分子激光光源，是下一代光刻機光源技術，咱們研發部已經立項開始研發，但這種技術在世界範圍內，也是最前沿研發項目，開發難度非常高，不是短期內能攻克的。”
這台新研製的光刻機的加工速度還是很快的，即使是初次測試，柏巧玲拿來的幾十片矽晶圓也在二分鍾內，全部完成了光刻加工。
這些光滑如鏡的矽晶圓上，多了很多方塊狀的紋路。測試用的掩膜版，是晶圓工廠正在生產的arm1芯片掩膜版，其複雜程度和尺寸大小，是晶圓工廠出產的所有芯片之最。
按照原本的計劃，第一次光刻測試，應該選用最為簡單的單片機芯片作為加工目標，這樣一來，就可以從易到難，逐步查漏補缺，將光刻機修改完善。但薑安平和幾個主要研發人員，對光刻機測試樣機非常有信心，直接上了最大難度，也是需求量最大的arm1芯片。
維創電子公司推出的第二代遊戲掌機上市之後，立刻受到電玩愛好者的熱捧，僅僅上市半個多月，就售出了300萬台。隨機配送的和兩款遊戲，在畫麵、音效、遊戲可玩性上，碾壓市麵上的所有遊戲。遊戲掌機熱銷，作為主控芯片的arm1需求量大增，可是產品合格率始終徘徊在60%~70%之間，提升速度非常緩慢。
經過蒙小剛、薑安平，幾個相關領域的專家研究分析，認為arm1合格率過低的原因恰恰是光刻機精準度不達標造成的。晶圓工廠內的這幾條芯片生產線畢竟是使用了一二十年的設備，能正常生產芯片就不錯了，想要苛求加工參數完全達標，幾乎不可能。其中影響最大的，就是作為核心設備的光刻機。
薑安平親自動手，使用專用夾具，將光刻完的幾十片矽晶圓裝進專用容器，拿去芯片生產線那邊，去進行後續的刻蝕、離子注入、薄膜沉積、化學機械研磨等步驟。
兩個多小時之後，所有工序走完，幾十片矽晶圓，變成了一千多枚封裝完成的arm1芯片。劉焱、烏光輝、薑安平等高管和研發人員，開始動手對這批芯片進行全麵測試。
半小時後，所有芯片測試完成，薑安平對測試結果進行了匯總，最後宣布道：
“此次我們自主研發的一微米光刻機測試，共選用了35片矽晶圓，加工過後，切割封裝成1750枚芯片。
經過全麵測試，合格產品共1203枚，合格率為68.7%。
也就是說，咱們光刻機研發實驗室生產的第一台一微米光刻機，第一次開機測試生產，就成功了，並且合格率已經達到了晶圓工廠內現有幾台j能和n康光刻機的加工水平。”
聽完薑安平的發言，劉焱帶頭鼓掌，其他維創電子告訴的高管和研發人員，以及其他負責封裝測試的員工緊隨其後，現場爆發出一陣熱烈的掌聲。
在場觀摩的維創電子公司員工們都在七嘴八舌的討論著：
此時是上午十點左右，處於每天的早班時間，晶圓工廠的四條芯片生產線正在全力運作，數千名工人，正在生產線上，有條不紊的工作。走過生產區域，進入測試區域，以薑安平為首的幾十名研究人員，正圍在一台一人多高的設備，做最後的調試，旁邊還有幾名維創電子公司的高管站在那裏圍觀。
劉焱湊上前去，朝研發二部部長烏光輝問道：
“這台就是光刻機研發實驗室製作出的第一台光刻機嗎？什麽時候能開始光刻測試？”
聽到有人提問，陽威力、金小雅等人同時轉頭看過來，見是老板劉焱，紛紛打招唿問好，烏光輝出聲給劉焱解釋道：
“對，就是這台機器，昨天組裝完成之後，第一時間就從研發大樓搬運到了無塵車間，經過一天一夜的安裝調試，現在已經差不多可以開始了。”
劉焱滿意的點點頭，圍著光刻機轉了一圈，這台設備為全封閉結構，就像一個四四方方的鐵皮文件櫃，外殼噴塗成了乳白色，左右兩側，設置有矽晶圓入口和出口，靠外一側安裝著一個控製麵板和一台大屁股顯示器。
劉焱有些疑惑的問道：
“看外表，我們這台光刻機似乎和j能、n康的光刻機都不太一樣，這是對外殼進行了優化嗎？”
烏光輝搖搖頭之後說道：
“我們不光優化了外殼，同時也優化了部分內部結構。
老板你提供的資料裏不是有一部分0.5微米光刻機的預研資料嗎，薑教授他們研發一微米光刻機的時候，參考了0.5微米光刻機的內部結構，對設計圖進行了一些更改優化。
從理論上來說，這些優化對晶圓的加工速度和加工精度，應該都有所提升，實際情況如何，還需要測試過後才知道。”
薑安平等人又忙活了半個多小時，光刻機終於調試完成，將提前準備好的掩膜版固定到掩膜版工作台上。陽威力通過對講機溝通，讓一位名為柏巧玲的女工，送來了幾十片已經塗好光刻膠的矽晶圓。
薑安平親自動手，將矽晶圓安置到光刻機晶圓入口處的支架上，然後按下操作麵板上的啟動按鈕。
光刻機內部傳出細微的機械轉動聲音，一張矽晶圓被機械臂送進光刻機內部，在深色玻璃觀察窗上，亮起一抹深邃的紫色光芒，開始對矽晶圓進行加工。
見狀，劉焱出聲詢問道：
“這台光刻機使用的是哪種光源，是高壓汞燈產生的436nmg-line和365nmi-line，還是248nm的krf準分子激光作為光源？”
烏光輝迴答道：
“現在使用的是高壓汞燈產生的365nmi-line作為光刻光源，理論上，這種光源能一直將光刻機的加工精度提升到0.35微米，作為未來一兩代光刻機的光源足夠使用了。
準分子激光光源，是下一代光刻機光源技術，咱們研發部已經立項開始研發，但這種技術在世界範圍內，也是最前沿研發項目，開發難度非常高，不是短期內能攻克的。”
這台新研製的光刻機的加工速度還是很快的，即使是初次測試，柏巧玲拿來的幾十片矽晶圓也在二分鍾內，全部完成了光刻加工。
這些光滑如鏡的矽晶圓上，多了很多方塊狀的紋路。測試用的掩膜版，是晶圓工廠正在生產的arm1芯片掩膜版，其複雜程度和尺寸大小，是晶圓工廠出產的所有芯片之最。
按照原本的計劃，第一次光刻測試，應該選用最為簡單的單片機芯片作為加工目標，這樣一來，就可以從易到難，逐步查漏補缺，將光刻機修改完善。但薑安平和幾個主要研發人員，對光刻機測試樣機非常有信心，直接上了最大難度，也是需求量最大的arm1芯片。
維創電子公司推出的第二代遊戲掌機上市之後，立刻受到電玩愛好者的熱捧，僅僅上市半個多月，就售出了300萬台。隨機配送的和兩款遊戲，在畫麵、音效、遊戲可玩性上，碾壓市麵上的所有遊戲。遊戲掌機熱銷，作為主控芯片的arm1需求量大增，可是產品合格率始終徘徊在60%~70%之間，提升速度非常緩慢。
經過蒙小剛、薑安平，幾個相關領域的專家研究分析，認為arm1合格率過低的原因恰恰是光刻機精準度不達標造成的。晶圓工廠內的這幾條芯片生產線畢竟是使用了一二十年的設備，能正常生產芯片就不錯了，想要苛求加工參數完全達標，幾乎不可能。其中影響最大的，就是作為核心設備的光刻機。
薑安平親自動手，使用專用夾具，將光刻完的幾十片矽晶圓裝進專用容器，拿去芯片生產線那邊，去進行後續的刻蝕、離子注入、薄膜沉積、化學機械研磨等步驟。
兩個多小時之後，所有工序走完，幾十片矽晶圓，變成了一千多枚封裝完成的arm1芯片。劉焱、烏光輝、薑安平等高管和研發人員，開始動手對這批芯片進行全麵測試。
半小時後，所有芯片測試完成，薑安平對測試結果進行了匯總，最後宣布道：
“此次我們自主研發的一微米光刻機測試，共選用了35片矽晶圓，加工過後，切割封裝成1750枚芯片。
經過全麵測試，合格產品共1203枚，合格率為68.7%。
也就是說，咱們光刻機研發實驗室生產的第一台一微米光刻機，第一次開機測試生產，就成功了，並且合格率已經達到了晶圓工廠內現有幾台j能和n康光刻機的加工水平。”
聽完薑安平的發言，劉焱帶頭鼓掌，其他維創電子告訴的高管和研發人員，以及其他負責封裝測試的員工緊隨其後，現場爆發出一陣熱烈的掌聲。
在場觀摩的維創電子公司員工們都在七嘴八舌的討論著：